特許
J-GLOBAL ID：200903047548737097
光学式異物検出装置およびこれを搭載した処理液塗布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-315011
公開番号（公開出願番号）：特開2008-126155
出願日： 2006年11月22日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】被処理基板の上面に沿って光ビームを投射することで、異常状態を検出する光学的な検出手段を具備した処理液塗布装置において、光ビームの光軸上における温度差の影響を受けて検出誤差が発生するのを防止させること。【解決手段】ステージ2上に水平状態に載置される被処理基板1と、前記基板1の幅方向に延びるスリット状吐出開口11bを有する処理液供給ノズル11とを相対的に移動させて処理液供給ノズル11から吐出される処理液を、基板1の表面に塗布するように構成されている。処理液供給ノズル11の移動方向の前方において、投光部5から受光部6に至る光ビーム4が投射される。前記光ビーム4の上部および両側部を囲む断面コ字状に形成された長尺状の光軸カバー部材15が備えられており、これにより例えばブウンフローなどの影響を受けて、光ビームの光軸上において温度差が発生するのを防止させる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ステージ上に載置された被処理基板の上面に沿って光ビームを投射する投光部、および前記光ビームを受光する受光部とを含む光透過型センサユニットと、前記光透過型センサユニットを被処理基板に対して相対移動させることで、前記光ビームが被処理基板の上面に沿って平行に走査されるようになされる相対移動手段とを備えた光学式異物検出装置であって、
前記光透過型センサユニットには、前記投光部から受光部に至る前記光ビームの上部および両側部を囲む断面コ字状に形成された長尺状の光軸カバー部材が備えられていることを特徴とする光学式異物検出装置。
IPC (3件)：
B05C 11/00
, G01B 11/30
, B05C 5/02
B05C11/00
, G01B11/30 Z
, B05C5/02
2F065AA49
, 2F065BB01
, 2F065BB22
, 2F065FF02
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065HH15
, 2F065JJ01
, 2F065PP12
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041CA02
, 4F042AA06
, 4F042AA10
, 4F042BA25
, 4F042DH09
