特許

J-GLOBAL ID：200903047549514008

流体制御装置

発明者： 星 丈治 ,  岡部 庸之 ,  五島 憲一 ,  小林 英雄 ,  長屋 暁典 ,  山路 道雄 ,  吉川 和博 ,  川野 祐司
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  シーケーディ株式会社 ,  株式会社フジキン
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-059697
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267100
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】【課題】 加熱装置を有していながら、組立てが容易で、しかも、ラインの増設・変更に容易に対応できる流体制御装置を提供する。【解決手段】 ラインA,Bの両側にテープヒータ11が配されるとともに、同ラインA,B内で隣り合う流体制御機器間のうちの複数カ所にテープヒータ保持用クリップ13を収める間隙が設けられて、テープヒータ11が、その両側から挟み付けるクリップ13によってラインA,Bに保持されている。ヒータ付きラインA,Bが、ベース部材1に着脱可能に取り付けられたライン支持部材10に取り付けられている。ライン支持部材10に、長さ方向にのびるヒータ挿入孔14が設けられ、同孔14にシースヒータ12が挿入されている。

請求項（抜粋）：

1つのライン(A)(B)が、上段に配された複数の流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(17)(18)(19)と、下段に配された複数のブロック状継手部材(8)とによって形成され、複数のライン(A)(B)が、その入口および出口を同じ方向に向けてベース部材(1)上に並列状に配置されている流体制御装置において、少なくとも1つのライン(A)(B)の両側にテープヒータ(11)が配されるとともに、同ライン(A)(B)内で隣り合う流体制御機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)(17)(18)(19)間のうちの複数カ所にテープヒータ保持用クリップ(13)を収める間隙が設けられて、テープヒータ(11)が、その両側から挟み付けるクリップ(13)によってライン(A)(B)に保持されており、ヒータ付きライン(A)(B)が、ベース部材(1)に着脱可能に取り付けられたライン支持部材(10)に取り付けられていることを特徴とする流体制御装置。

Fターム (5件)：

3J071BB14 ,  3J071CC01 ,  3J071CC11 ,  3J071DD36 ,  3J071FF11