特許
J-GLOBAL ID：200903047563463440
レーザドプラ方式振動計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267630
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117914
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】振動や空気の揺らぎ等の外乱に強いレーザドプラ方式振動計を提供する。【構成】本振動計は、レーザ光源12から、2波長を持つレーザビーム2fを出力し、出力されたレーザビーム2fを、レーザビーム分割手段13の1/2波長板15を通して偏向ビームスプリッタ3に入力させ、ビーム2c,2dに分ける。分割された一方のレーザビーム2cを、1/4波長板16b及び光学系7を通して振動物体8に照射し、振動物体8からの散乱光2eを、光学系7及び1/4波長板16bを通して偏向ビームスプリッタ3に入れる。他方のレーザビーム2dを、1/4波長板16aを通してレーザビーム反射手段としてのミラー14に当て、ミラー14で反射したレーザビーム2dを、1/4波長板16aを通して再び偏向ビームスプリッタ3に入れる。このビーム2dと散乱光2eとを、検光子17で干渉させて干渉ビート信号を作り、この信号を光検出器9に入れる。
請求項（抜粋）：
相互に異なる特定の2波長を持つレーザビームを、同時に同一光軸上に出力するレーザ光源と;このレーザ光源の出力ビームを、その波長成分毎に2分割するレーザビーム分割手段と;2分割されたレーザビームの一方を振動物体に照射するとともに、振動物体の振動速度に応じたドプラシフトを受けた散乱光を集光し、再び前記レーザビーム分割手段に入射させる照射用及び集光用光学系と;前記2分割されたレーザビームの他方を、再びレーザビーム分割手段に入射させ、レーザビーム分割手段において前記散乱光と合成させるレーザビーム反射手段と;レーザビーム分割手段におけるレーザビームの合成によって生じる干渉光を、電気信号に変換する光検出器と;この光検出器の出力信号を増幅する増幅器と;この増幅器の出力信号からドプラシフト量を検出し、振動物体の振動速度に比例したアナログ信号を出力する信号処理装置とを備えたことを特徴とするレーザドプラ方式振動計。
IPC (2件)：
引用特許：
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