特許

J-GLOBAL ID：200903047578543335

金属酸化物焼結体およびその用途

発明者： 松崎 隆造 ,  中村 和正 ,  篠田 英之 ,  内海 健太郎 ,  長崎 裕一 ,  高畑 努
出願人/特許権者： ジオマテック株式会社 ,  東ソー株式会社
代理人 (1件)： 岸田 正行 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289815
公開番号（公開出願番号）：特開2001-151572
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】 フラットパネルディスプレイの透明電極等に用いられるITO薄膜を結晶化温度以上の基板温度で形成した場合においても、ドメイン構造を有さず平坦で、エッチング特性に優れた薄膜を提供する。また、タッチパネルのような膜厚の薄い領域で使用した場合においても、耐熱性、耐湿性に優れ、抵抗率の変化率が小さい透明導電膜を提供することにある。【解決手段】 In、Sn、MgおよびOからなり、Mg含有量(原子比)がMg/(In+Sn+Mg):2.0〜20.0%である金属酸化物焼結体、この金属酸化物焼結体を用いた蒸着材料/スパッタリングターゲット、In、Sn、MgおよびOからなり、Mg含有量(原子比)がMg/(In+Sn+Mg):2.0〜20.0%である透明導電性膜、およびこの透明導電性膜を含んでなる、フラットパネルディスプレイ、タッチパネル等に関する。

請求項（抜粋）：

実質的にインジウム、スズ、マグネシウムおよび酸素からなり、マグネシウムがMg/(In+Sn+Mg)の原子比で2.0〜20.0%の割合で含有されていることを特徴とする金属酸化物焼結体。

IPC (6件)：

C04B 35/495 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/34 ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14 ,  H01B 12/06

FI (6件)：

C23C 14/24 E ,  C23C 14/34 A ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14 Z ,  H01B 12/06 ,  C04B 35/00 J

Fターム (19件)：

4G030AA08 ,  4G030AA30 ,  4G030AA39 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4K029BA50 ,  4K029BC00 ,  4K029BC09 ,  4K029DC05 ,  5G301CA02 ,  5G301CA23 ,  5G301CA30 ,  5G301CD02 ,  5G301CD10 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC04 ,  5G307FC06 ,  5G307FC10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 透明導電膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-094473   出願人：グンゼ株式会社
• 透明導電性積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-138427   出願人：帝人株式会社