特許
J-GLOBAL ID：200903047586330952
減圧気相成長装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-209054
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047677
出願日： 1991年08月21日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】各ウェーハ及びウェーハ面内の膜厚を均一にし、ステップカベレッジを改善を図る。【構成】ウェーハ4の複数枚を並べて積載するボート2を取り囲むリング状ガス導入管6を設け、ガス噴出口7よりウェーハ4の周囲に一様にガスを吹き出せ、ボート2の傾きや変形によるガスの滞留をなくして、一様の膜厚に成長させる。
請求項（抜粋）：
複数のウェーハを並べて積載するボートと、このボートを収納する反応管と、前記ボートの周囲を取り囲むように前記ウェーハに原料ガスを吸き付ける複数のガス噴出口が形成されるガス導入管とを有することを特徴とする減圧気相成長装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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