特許
J-GLOBAL ID：200903047588568786
ビーム位置検出装置、及びこれを有する露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078775
公開番号（公開出願番号）：特開平8-279447
出願日： 1995年04月04日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【目的】 信頼性の高いビーム位置検出装置やこれを有する露光装置を提供すること。【構成】 シンクロトロン放射光のビーム位置を検出する装置において、ディテクタの機能(故障もしくは劣化)を診断する手段を設けたことを特徴とする。診断の方法としては、ディテクタの出力値と閾値とに基づいて診断を行う、あるいはシンクロトロン放射源の電流値とディテクタ出力値とに基づいて診断を行う。
請求項（抜粋）：
ディテクタを有するビーム位置検出装置において、ディテクタの機能を診断する手段を設けたことを特徴とするビーム位置検出装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/30 531 A
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 531 S
, H01L 21/30 531 Z
