特許

J-GLOBAL ID：200903047592721084

真空チャンバ用回転伝動機構

発明者： 奥村 裕 ,  佐藤 隆 ,  徳村 哲夫 ,  瀬川 利規 ,  野沢 俊久 ,  石橋 清隆 ,  茂山 和基
出願人/特許権者： 株式会社エフオーアイ ,  株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 佐藤 香
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-159191
公開番号（公開出願番号）：特開平10-329061
出願日： 1997年06月02日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】【課題】回転伝動軸数の多数化に際し、変形が少なく而も保守作業等も容易で且つ電動モータの給電線とチャンバ蓋との相互影響が無いようにする。【解決手段】真空チャンバ10の底11に立設されその上蓋12に至る筒状体330+530と、この筒状体の側壁330,530を内外から挟んで磁気結合する回転体の複数対31+35,36+39,51+55,56+59とを具備した真空チャンバ用回転伝動機構において、筒状体の上端部位を真空チャンバの上蓋12に密着させる取着手段120を備え、筒状体330+530は、複数の短い筒状体330,530が上下に連結されたものであって、その自由高さが真空チャンバの上蓋12の自由高さよりも低いものであり、さらに、回転体55,59を駆動する電動モータ55a,59aへの給電線511,561が筒状体330+530を介して真空チャンバ10の下方へ引き出される。

請求項（抜粋）：

真空チャンバの底に立設されその上蓋に至る筒状体と、この筒状体の側壁を内外から挟んで磁気結合する回転体の複数対とを具備した真空チャンバ用回転伝動機構において、前記筒状体の上端部位を前記真空チャンバの上蓋に密着させる取着手段を備え、前記筒状体はその自由高さが前記真空チャンバの上蓋の自由高さよりも低いものであることを特徴とする真空チャンバ用回転伝動機構。

IPC (3件)：

B25J 9/06 ,  B25J 18/02 ,  H02K 49/10

FI (3件)：

B25J 9/06 A ,  B25J 18/02 ,  H02K 49/10 A