特許
J-GLOBAL ID:200903047599505409
圧力センサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-098308
公開番号(公開出願番号):特開平8-292114
出願日: 1995年04月24日
公開日(公表日): 1996年11月05日
要約:
【要約】【目的】 歪みの変化により電気抵抗が変化する感歪抵抗体を用いた圧力センサに関するもので、複雑な配線をせずに、感歪抵抗体の抵抗値の変化の出力を得るためのホイートストーンブリッジを構成する。【構成】 測定されるべき圧力にさらされると変形可能なダイヤフラム部12と端子部13より構成された基体11と、ダイヤフラム部12の表面裏面に設けられた複数の感歪抵抗体R11〜R14と、一端が感歪抵抗体R11〜R14に接続され他端が端子部13に達する電極パターンD11〜D18とからなり、端子部13で基体11の表面裏面の対向する電極パターンD11〜D18を接続したときに感歪抵抗体R11〜R14のホイートストーンブリッジが形成されるように感歪抵抗体R11〜R14および電極パターンD11〜D18を配置した。
請求項(抜粋):
測定されるべき圧力にさらされると変形可能なダイヤフラム部と端子部より構成された基体と、前記ダイヤフラム部の表面裏面に設けられた複数の感歪抵抗体と、一端が前記感歪抵抗体に接続され他端が前記端子部に達する電極パターンとからなり、前記端子部で基体の表面裏面の対向する電極パターンを接続したときに前記感歪抵抗体のホイートストーンブリッジが形成されるように前記感歪抵抗体および前記電極パターンを配置したことを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件):
G01L 9/04 101
, G01L 1/22
, G01B 7/16
FI (3件):
G01L 9/04 101
, G01L 1/22 M
, G01B 7/18 A
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