特許

J-GLOBAL ID：200903047600547960

電子ビーム励起プラズマ発生装置

発明者： 龍治 真 ,  東海 正國 ,  森 幸隆 ,  長谷川 猛 ,  伴 雅人
出願人/特許権者： 川崎重工業株式会社
代理人 (1件)： 関 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-098527
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067491
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】 より大きな面積の試料が作成でき、また効率良く試料を作成できる電子ビーム励起プラズマ装置を提供する。【解決手段】 放電部2からプラズマプロセス室3内に電子ビームを引き出す引出し隘路22が放射状に複数個備えられ、引出し隘路22からの電子引出し方向が放電部2への電子入射方向に対してほぼ垂直になることを特徴とする。特に、試料面35が引出し隘路22からの電子引出し方向に対してほぼ平行に設置されることが好ましい。

請求項（抜粋）：

カソードと中間電極と放電電極と加速電極がこの順に配置され、中間電極と放電電極の間に形成される放電部から引き出し隘路を介してプロセス室内に電子を引き出し、加速電極により加速してプロセス室内のガスをプラズマ化して試料面に作用させる電子ビーム励起プラズマ装置において、前記引き出し隘路が放射状に複数個備えられ、該引き出し隘路からの電子引き出し方向が前記放電部への電子入射方向に対してほぼ垂直になることを特徴とする電子ビーム励起プラズマ発生装置。

IPC (6件)：

H05H 1/46 ,  C23C 14/32 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 ,  H01J 27/20

FI (6件)：

H05H 1/46 A ,  C23C 14/32 F ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01J 27/20 ,  H01L 21/302 Z