特許
J-GLOBAL ID：200903047602189092
微小機械エネルギー、力及び質量の真空ベースセンサに使用する装置と方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
長谷 照一
, 神谷 牧
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-549888
公開番号（公開出願番号）：特表2006-506236
出願日： 2003年05月07日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
二重クランプビームが、近くにゲートを有するビーム内に、ゲートとビームのダイポールに対しサブミクロンの距離以内に非対称のピエゾ抵抗層を有している。懸架ビームが、プラズマチャンバー中にそれぞれ1:9の流量比で供給されるCl2/Heで行うプラズマエッチング法を利用して製造される。パラメトリック増幅器が、共振で駆動されるNEMS信号ビーム及び2倍の共振で駆動される一対のポンプビームを備え、ポンプビームに変調されたローレンツ力を生成して前記信号ビームのばね定数を摂動させる。ブリッジ回路が、第一と第二のアーム内の第一と第二のNEMSビームに励起信号の二つの位相の合っていない成分を提供する。DC電流が、共振周波数のチューニングを行なうためAC駆動NEMS装置に供給される。分析器が、異なる共振周波数と複数の駆動/検出エレメントを有する複数のピエゾ抵抗NEMSカンチレバー、又は光学的回折格子を形成する相互に作用する複数のビーム、又は各々異なる被検体に応答する複数の歪検出NEMSカンチレバー、又は異なるIR吸収体を有する複数のピエゾ抵抗NEMSカンチレバーを備えている。
請求項（抜粋）：
サブミクロン幅で二重にクランプして懸架されたビームであって、その中又は上に非対称に配置された機械-電気変換層を有するビームと、
サブミクロンの距離内で前記ビームに近接している少なくとも一つのサイド駆動ゲートと、
を備えてモノリシックに製造された装置。
IPC (6件)：
B81B 3/00
, B81B 7/02
, B81C 1/00
, G01L 1/18
, H03H 9/24
, H01L 41/09
B81B3/00
, B81B7/02
, B81C1/00
, G01L1/18 A
, H03H9/24 Z
, H01L41/08 C
