特許
J-GLOBAL ID：200903047603269480
研磨装置及び研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-119586
公開番号（公開出願番号）：特開2000-308962
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：
【要約】【課題】 研磨装置に使用する研磨布の繊維部分を長時間維持させることを目的とする。【解決手段】 駆動機構3-07に対して、その回転方向を制御する制御機構3-10を設け、研磨布の回転方向を制御する。
請求項（抜粋）：
定盤に貼り付けられた研磨布の上にガラス原盤を水平に保持すると共に、ガラス保持治具でガラス原盤を保持し、圧力機構によって圧力盤を前記ガラス保持治具にセットし、研磨剤供給ノズルより研磨剤を研磨布の上に供給しながら、制御機構によって駆動機構を定盤が第1の方向と、前記第1の方向と反対の第2の方向に回転しながら研磨を行うように制御することを特徴とする研磨装置。
Fターム (11件)：
3C058AA07
, 3C058AA11
, 3C058AA12
, 3C058AA16
, 3C058AA19
, 3C058AB04
, 3C058AB09
, 3C058AC04
, 3C058CA01
, 3C058CA06
, 3C058DA17
