特許
J-GLOBAL ID：200903047604330620
アライメント装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016589
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217835
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 基板上のマークを、互いに異なる検出方式のアライメントセンサーで交互に高速に検出する。【構成】 共通の対物レンズを介して2つのアライメントセンサーで基板上のマークを検出するために、2つのアライメントセンサーの各検出範囲を対物レンズの視野領域内で互いに分離させて並置する分離手段(視野絞り、変倍系)を設ける。
請求項（抜粋）：
アライメントすべき対象物上に照明光を出射するとともに、該対象物上の特定位置に形成されたマークパターンからの反射光を入射する対物光学系と、該対物光学系を介して得られる前記マークパターンからの反射光を光電検出するための検出素子を備えた受光系と、該検出素子からの電気信号を処理して前記マークパターンを特定する信号処理手段とを有するアライメント装置において、前記受光系は、前記マークパターンからの反射光に対する光学的な検出方式が異なる第1の受光系と第2の受光系とを含み、前記信号処理手段は前記第1の受光系からの電気信号を処理する第1の処理回路と、前記第2の受光系からの電気信号を処理する第2の処理回路とを含み、さらに前記対物光学系の視野内でみたとき、前記第1の受光系による検出範囲と前記第2の受光系による検出範囲とが互いに分離されるように規定する分離手段とを設けたことを特徴とするアライメント装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 301 M
, H01L 21/30 311 H
, H01L 21/30 311 M
