特許
J-GLOBAL ID：200903047604991120
気体レーザーのマイクロ波放電励起方法及びマイクロ波気体レーザー装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-179847
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036465
出願日： 1995年07月17日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】 レーザーガス媒質をレーザー光軸上のガス温度上昇及び分布をもたせることなく均一に放電励起させて、レーザー出力及び発振効率を向上させることができる気体レーザーのマイクロ波放電励起方法及びマイクロ波気体レーザー装置を提供する。【解決手段】 マグネトロン10から発振されたマイクロ波をアンテナ11を介して直接T分岐矩型空胴共振器24の直交部24a内に直接導入し、更に放電部24b内に導き、この内部にレーザ光の光軸に対して電界方向が垂直でほぼ強度が一定なTE10モードのマイクロ波電界を形成させ、このマイクロ波電界によってレーザーガス媒質14を放電励起させてレーザー出力を得る。しかもT分岐矩型空胴共振器24の設計誤差等による共振周波数のずれを、チューニングブロック13a,13bや反射板12の挿入長を微動調整することによって補正する。
請求項（抜粋）：
マイクロ波発振器から発振されたマイクロ波を空胴共振器に導き、この空胴共振器内に設置された2枚の石英板間のレーザーガス媒質をマイクロ波電界により放電励起させてレーザー出力を得る気体レーザーのマイクロ波放電励起方法において、前記空胴共振器を放電部とこの放電部に略直交する直交部とからなるT分岐空胴共振器とし、このT分岐空胴共振器の放電部内にレーザー光の光軸に対して電界方向が垂直でほぼ強度が一定なTE10モードのマイクロ波電界を形成させることを特徴とする気体レーザーのマイクロ波放電励起方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/097 C
, H01S 3/09 Z
