特許

J-GLOBAL ID：200903047614865280

蒸着用ボート

発明者： 岡田 俊弘 ,  今村 聡 ,  池本 定信
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (2件)： 北村 欣一 ,  原嶋 成時郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-434857
公開番号（公開出願番号）：特開2005-194539
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

【課題】通電加熱を長時間行っても、信頼性の高い安定した蒸着工程を行うことが可能な蒸着用ボートを提供する。【解決手段】薄膜材料を収容する湯溜り2を表面1c側に設け、さらに、湯溜り2を挟む位置の両端1a、1bにそれぞれ電極3、4を接続して構成される蒸着用ボート1に対して、湯溜り2と各電極3、4との間に、それぞれボート表面1c及び裏面1d間を貫通する貫通孔12a、12bを穿設する。この際の貫通孔12a、12bは、ボート裏面1dに向かって広がるテーパー状の有底孔部分13a、13bと、ボート表面1cからテーパー状有底孔13a、13bの底面14a、14bに達する通孔部分15a、15bとをそれぞれ連通して形成される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

薄膜材料を収容する有底孔を表面側に有すると共に該有底孔を挟む位置の両端縁に一対の電極を接続して成る蒸着用ボートにおいて、前記有底孔と各電極との間に、それぞれボート表裏両面を貫通する貫通孔を穿設したことを特徴とする蒸着用ボート。

IPC (2件)：

C23C14/24 ,  H01L21/285

FI (2件)：

C23C14/24 A ,  H01L21/285 P

Fターム (6件)：

4K029CA01 ,  4K029DB11 ,  4K029DB12 ,  4M104BB02 ,  4M104BB36 ,  4M104DD34

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭48-82591号公報(第1図)
  

審査官引用 (1件)

• 基板をコーティングする装置のための蒸発器ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-043145   出願人：バルツァースウントライボルトドイチュラントホールディングアクチエンゲゼルシャフト