特許
J-GLOBAL ID：200903047616272839
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059934
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264282
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】【目的】 駆動用素子と検知用素子を音叉型に組み合わせた角速度センサにおいて、小電力でかつ最大感度が得られる高性能の角速度センサを提供する。【構成】 圧電素子7を有する駆動用素子8の先端に圧電素子5を有する検知用素子6を互いに直交させて配置し接合した直交体2個が接合部材19を介して音叉状に接合され、検知用素子6の厚みは駆動用素子8の厚みより薄く、検知用素子6の共振周波数は駆動用素子8の共振周波数と異なる構成とすることにより、検知用素子6の厚みが薄いので感度の大きなものが得られ、また両者の共振周波数が異なるので駆動周波数が多少ずれても検知用素子6の感度は変動しない。
請求項（抜粋）：
表面に駆動用圧電素子を設けた平板状の駆動用素子の先端に表面に検知用圧電素子を設けた平板状の検知用素子を互いの厚み方向を直交させて配置し接合した直交体2個が接合部材を介して音叉状に接合され、前記駆動用素子と前記検知用素子の少なくとも一方は恒弾性金属板からなる角速度センサにおいて、前記検知用素子の厚みは前記駆動用素子の厚みより薄く、かつ前記検知用素子の共振周波数は前記駆動用素子の共振周波数と異なることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
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