特許
J-GLOBAL ID：200903047619946628
マイクロインジェクティングデバイスとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-314404
公開番号（公開出願番号）：特開2000-141665
出願日： 1999年11月04日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：
【要約】【課題】 機械的特性,および動作応答性が良好で,インク噴射機能が優れたマイクロインジェクティングデバイスおよびその製造方法を提供する。【解決手段】メンブレン20aのメイン動作部の構造を,高い引張力伝達特性を有する衝撃膜24(例えば,ニッケル膜)と,高い伸縮性を持つ有機膜21(例えば,ポリイミド膜)とに二元化し,各々の領域がインクを強く押し上げる衝撃力伝達媒体としての役割,迅速な初期化媒体としての役割とともに,応力を分散して除去し,しわ等の損傷を防止する役割を実行するようにする。
請求項（抜粋）：
保護膜が形成された基板と,前記保護膜上に形成されて加熱チャンバを加熱する加熱層と,前記保護膜上に形成され,かつ前記加熱層と接触して電気的な信号を伝達する電極層と,前記加熱層を囲み,ワーキング溶液を充填された加熱チャンバの範囲を決定するため,前記電極層上に形成される加熱チャンババリヤ層と,前記加熱チャンババリヤ層上に形成され,前記加熱チャンバと接触して前記加熱チャンバに充填されたワーキング溶液の体積変化によって伸縮して振動するメンブレンと,前記加熱チャンバと同一軸上に位置されたインクチャンバの範囲を決定するため前記メンブレン上に形成されるインクチャンババリヤ層と,前記インクチャンバと接触するノズルの範囲を決定するため前記インクチャンババリヤ層上に形成されるノズルプレートとを含み,前記メンブレンは,前記加熱チャンバの上部を覆うように前記加熱チャンババリヤ層の全面に形成される有機膜と,前記加熱チャンバと同一軸上に位置して,前記加熱チャンバ形成領域に対応するように前記有機膜上に形成される衝撃膜と,を含むことを特徴とするマイクロインジェクティングデバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
