特許
J-GLOBAL ID：200903047621903103
純水供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-142523
公開番号（公開出願番号）：特開平7-326601
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】 純水通路に純水が滞留することがなく、リーク弁を通った純水が不所望に基板に付着することがない純水供給装置を提供する。【構成】 ノズル23へ連なる第1の純水通路21は、純水供給源に接続された第2の純水通路22に接続される。第2の純水通路22には、その途中に第1の開閉弁31が介挿され、第1の開閉弁31に対して、スローリーク弁26を有する第3の純水通路25が並列に設けられる。第1の開閉弁31と第3の純水通路25との並列部と、ノズル23との間からドレン通路27が分岐しており、ドレン通路27は排液処理装置へ接続される。
請求項（抜粋）：
基板を鉛直軸まわりで回転させつつ基板に純水を供給する純水供給装置において、純水供給源に連通して純水を基板に導く純水通路と、前記純水通路の途中に介挿した開閉弁と、前記純水通路から分岐したドレン通路と、前記純水通路または前記ドレン通路に設けられ前記ドレン通路から純水をリークさせるリーク弁とよりなることを特徴とする純水供給装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/02
, B05C 11/08
