特許
J-GLOBAL ID：200903047622874700
プローブ先端位置確認用プリズム付きプローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-078887
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265578
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 被測定物たるICチップに特に位置合わせのための導電膜等を形成することが必要なく、プローブたるスプリングピンの先端の位置を直接的に確認することができるようにする。【構成】 透明基板100に略垂直に取り付けられたスプリングピン200の接触子230がICチップ300の所定の電極部310に接触しているか否かを確認できるプローブカードであって、透明基板100にはスプリングピン200に対応した開口130が開設されており、開口130の縁部はプリズム131として形成されており、スプリングピン200の真上方向から見るとスプリングピン200の接触子230がプリズム131を通して視認することができる。
請求項（抜粋）：
透明基板に略垂直に取り付けられたプローブの先端が被測定物の所定位置にあるか否かを確認できるプローブカードであって、前記透明基板にはプローブに対応した開口が開設されており、当該開口の縁部はプリズムとして形成されており、プローブの真上方向から見るとプローブの先端がプリズムを通して視認することができることを特徴とするプローブ先端位置確認用プリズム付きプローブカード。
IPC (2件)：
引用特許：
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