特許
J-GLOBAL ID：200903047630292508
膜厚測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-059806
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239027
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 定量的に切片の膜厚を画像処理により測定すること。【解決手段】 試料の切片を撮像する撮像手段2と、この撮像手段2から出力される画像データでの切片が位置する領域を切片領域として特定する切片位置特定部4と、この切片位置特定部4によって特定された切片領域の色情報に基づいて当該切片の厚さを算出する計測部6とを備えている。しかも、計測部6は、切片位置特定部4によって特定された切片領域の色情報を各画素毎に読み出すと共に当該領域内の色の分布を評価する色分布評価手段8と、この色分布評価手段8によって評価された色の分布から当該切片の標準的な色を特定すると共に当該特定色の色情報を厚さ情報に変換する変換処理手段10とを備えている。
請求項（抜粋）：
試料の切片を撮像する撮像手段と、この撮像手段から出力される画像データでの前記切片が位置する領域を切片測定領域として特定する切片位置特定部と、この切片位置特定部によって特定された切片測定領域の色情報に基づいて当該切片の厚さを算出する計測部とを備え、前記計測部が、前記切片位置特定部によって特定された切片測定領域の色情報を各画素毎に読み出すと共に当該領域内の色の分布を評価する色分布評価手段と、この色分布評価手段によって評価された色の分布から当該切片の標準的な色を特定すると共に当該特定した色の色情報を厚さ情報に変換する変換処理手段とを備えたことを特徴とする膜厚測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/06 H
, G01J 3/46 Z
