特許
J-GLOBAL ID：200903047632759390
電子ビーム高電圧切替え電源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-084791
公開番号（公開出願番号）：特開平6-103952
出願日： 1993年04月12日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 電子ビーム銃やイオン源用などの電源で、負荷でアークなどが発生してもショート状態になっても破損しない安定で高出力の固体電源を提供する。【構成】 交流入力電圧を未調整の直流電圧へ変換する整流器/フィルタ100と、複数の切替え型直流-直流変換器モジュール112とからなり、該変換器モジュールは、入力減結合回路網116、入力コンデンサ125、電圧調整器114、方形波インバータ118、昇圧変圧器150および出力側の整流器/フィルタ回路160とからなる。
請求項（抜粋）：
多相交流電圧源を整流するとともに正および負の出力リード線上に未調節の直流電圧を生成する手段を有する、変化しかつアークを発生する負荷の下で制御された高出力電圧を生成する電源であって、該電源は、整流のための前記手段の前記の正および負の直流出力リード線間に並列に接続された複数個の直流-直流変換器モジュールであって、前記変換器モジュールのそれぞれは、制御されたデューティーサイクルの脈動電圧を生成する調節器手段と、前記脈動電圧を平滑な直流電流へ平滑化する誘導器手段と、前記直流電流を交番極性の高周波方形波電流へ変換するインバータースイッチ手段と、前記高周波方形波電流を受け入れる一次側巻線を有し、かつ前記一次側巻線間の印加電圧を二次側巻線間の高電圧レベルまで昇圧する変圧器手段と、前記二次側巻線間に生じる高周波数の高電圧を正と負の出力リード線上の高い直流電圧へ変換する出力整流器およびフィルタコンデンサ手段とを具備してなる複数個の直流-直流変換器モジュールからなり、それにより前記電源は非常に減少せられたキャパシタンス値で作動し、アーク中に電子ビーム銃などへの放電に用いられる蓄積されたエネルギーを最小にすることを特徴とする電源。
IPC (5件)：
H01J 37/248
, H01L 21/027
, H02J 1/00 306
, H02M 3/28
, H02M 7/08
