特許
J-GLOBAL ID：200903047633222586
ウエツトエツチング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-184387
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029297
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【目的】 エッチング工程においてエッチング液の濃度が変化してもエッチング速度を任意の値に制御できるウエットエッチング装置を提供する。【構成】 エッチング液を満たしたウエットエッチング槽2と、エッチング液の温度を検出する温度検出器3と、濃度測定器9と、温度検出器3および濃度測定器9からの出力信号を受けてエッチング速度を演算する演算処理装置10とを備えた。
請求項（抜粋）：
エッチング液を満たしたウエットエッチング槽と、前記エッチング液の温度を検出する温度検出器と、前記エッチング液の濃度を測定する濃度測定器と、前記温度検出器からの出力信号と前記濃度測定器からの出力信号を受けてエッチング速度を演算する演算処理装置とを備えたウエットエッチング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/306
, C23F 1/08 101
