特許
J-GLOBAL ID：200903047636062415
ガス供給ノズル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-224097
公開番号（公開出願番号）：特開平7-078797
出願日： 1993年09月09日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【構成】 SiC又は黒鉛で形成され、かつ内部に加熱機構43を備えているガス供給ノズル42。【効果】 充分な耐熱性を有し、ガス等の発生がなく、ウエハ洗浄装置等に使用した場合にも、目的の真空度を維持することができるとともに反応薬液等のべーパーが凝縮せず、安定した組成の混合ベーパーをウエハ表面に噴出させることができる。従って、ガス供給ノズル42を使用してウエハの洗浄を行うことにより、パーティクルの付着や汚染がなく、均一なウエハの洗浄処理が可能となる。
請求項（抜粋）：
SiC又は黒鉛で形成され、かつ内部に加熱機構を備えていることを特徴とするガス供給ノズル。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/3065
