チップ装着機のチップ吸着ノズル検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323256
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174867
出願日： 1992年12月02日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】チップ吸着ノズルの磨耗や欠損及び偏心の検査を簡単な治具により検出できるようにしたチップ装着機のチップ吸着ノズル検査装置を得る。【構成】テーブル20上に配設したチャック固定ヘッド21に検査されるチップ吸着ノズルを支持したコレットチャックが挿着されるチャック挿着部22を有し、コレットチャックは固定ハンドル25の締め付けによって回転不能に支持される。また、テーブル20上にはX軸ステージ27と、X軸ステージ27上にX軸方向にスライドするY軸ステージ28と、Y軸ステージ27上にY軸方向にスライドするZ軸ステージ30が支持され、Z軸ステージ30に第1のロッド32及び第1のジョイント33を介して長さ測定用ダイヤル付きゲージ34を設け、さらに、Z軸ステージ30に第2のロッド37、第3のジョイント38及び第3のロッド39を介して偏心測定用ダイヤル付きゲージ40を設けた。

請求項（抜粋）：

被検査部材となるチップ吸着ノズルが挿着されるチャック部材と、上記チャック部材が挿着されるチャック挿着部を有するチャック固定ヘッドと、X軸ステージ、Y軸ステージ及びZ軸ステージと、上記チップ吸着ノズルの長さ測定用のダイヤル付きゲージと、上記チップ吸着ノズルの偏心測定用のダイヤル付きゲージとから構成したことを特徴とするチップ装着機のチップ吸着ノズル検査装置。

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