特許
J-GLOBAL ID：200903047643755655
レーザ穴開け加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-154514
公開番号（公開出願番号）：特開2001-062578
出願日： 2000年05月25日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：
【要約】【課題】 パッケージ、プリント基板などに多数の細い穴を一挙に穿孔すること。【解決手段】 レーザビームをDOEによって回折させ、多数のビームを発生させ、fsinθレンズによって像面に等間隔のスポットとして結像させる。ガルバノミラーと組み合わせ、ガルバノミラー方式とDOE方式を択一的に使用できるようにする。
請求項（抜粋）：
レーザと、一定の空間周期の同一の繰り返しパターン、或いは一定の空間周期の同一パターンを変調した繰り返しパターンを含みレーザ光を回折して多数のビームを発生する回折型光学部品と、回折型光学部品から出た多数の分岐ビームを集光するfsinθレンズとよりなることを特徴とするレーザ穴開け加工装置。
IPC (8件)：
B23K 26/00 330
, B23K 26/06
, G02B 5/18
, G02B 13/18
, G02B 26/00
, G02B 26/10 104
, H05K 3/00
, B23K101:42
B23K 26/00 330
, B23K 26/06 E
, B23K 26/06 J
, G02B 5/18
, G02B 13/18
, G02B 26/00
, G02B 26/10 104 Z
, H05K 3/00 N
