特許
J-GLOBAL ID：200903047645644370
高周波半導体素子の周波数特性測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267281
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116863
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】 低コストで再現性良好な高周波素子の周波数特性測定装置を提供する。【解決手段】 高周波半導体素子の周波数特性測定装置において、複素線路特性測定装置101と、信号線と接地線を有するとともに、前記複素線路特性測定装置101の高周波入出力と接続される高周波触針103a,103bと、前記複素線路特性測定装置101の測定値出力と接続されるとともに、記憶装置を有する制御装置102と、この制御装置102と接続されるとともに、上下動機構を有するウエハステージ104とを具備し、前記制御装置102は、前記複素線路特性測定装置101による測定系の複素線路特性を監視しながら、前記ウエハステージ104の上下動機構を制御し、前記特性の変化点を、前記高周波触針103a,103bと前記被測定素子の接触点と判断して、前記高周波触針103a,103bの前記被測定素子への接触圧力を調節する。
請求項（抜粋）：
高周波半導体素子の周波数特性測定装置において、(a)複素線路特性測定装置と、(b)信号線と接地線を有するとともに、前記複素線路特性測定装置の高周波入出力と接続される高周波触針と、(c)前記複素線路特性測定装置の測定値出力と接続されるとともに、記憶装置を有する制御装置と、(d)該制御装置と接続されるとともに、上下動機構を有する被測定素子載置台とを具備し、(e)前記制御装置は、前記複素線路特性測定装置による測定系の複素線路特性を監視しながら、前記被測定素子載置台の上下動機構を制御し、前記特性の変化点を、前記高周波触針と前記被測定素子の接触点と判断して、前記高周波触針の前記被測定素子への接触圧力を調節するようにしたことを特徴とする高周波半導体素子の周波数特性測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 B
, G01R 31/26 J
