特許

J-GLOBAL ID：200903047652779427

感熱式流量計

発明者： 堀口 浩幸 ,  中山 義宣
出願人/特許権者： 株式会社リコー ,  リコー精器株式会社 ,  リコーエレメックス株式会社
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-010922
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089619
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 S/Nの向上を図り、低流量域においても正確な測定を可能にすると共に、省電力化を図る【解決手段】 流体温度より高い一定温度で等しく加熱されている上流側の発熱体Rh1 と下流側の発熱体Rh2 との出力値の差分、即ち、電位差から流体の流量を決定することで、ノイズ成分が除去された流量の信号成分のみを取り出すので、S/Nを向上させることができ、出力-流量曲線の線形性を低流量域でも改善でき、かつ、発熱体Rh1 ,Rh2 自身の出力を利用するため、低電圧駆動も可能で省電力化を図れる。

請求項（抜粋）：

基板自身又は基板上に形成された熱絶縁部と、流体の流れ方向に対して上流側と下流側とに位置させて前記熱絶縁部上に設けられた複数の発熱体と、これらの発熱体の温度を測定する発熱体温度測温体と、前記発熱体の温度に影響されない部位に設けられた流体温度測温体と、少なくとも前記発熱体温度測温体と前記流体温度測温体とを含んで構成され前記発熱体の温度を一定に保つ発熱体温度制御部と、上流側に設けられた前記発熱体の出力値と下流側に設けられた前記発熱体の出力値との差分値を求め流体の流量を決定する流量検出部とを備えたことを特徴とする感熱式流量計。