特許

J-GLOBAL ID：200903047662010555

光ガイド層に回折格子が形成されている半導体装置

発明者： 宮澤 誠一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-191404
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022572
出願日： 1996年07月02日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【課題】グレーティングの高さを正確に制御すると共に、活性層ないし導波層との距離を正確に制御できる構成を有する半導体装置である。【解決手段】光ガイド層12、14を含む半導体装置である。光ガイド層12、14中にエッチングストップ層13を含み、エッチングストップ層13直上の光ガイド層14に回折格子15が形成されている。

請求項（抜粋）：

光ガイド層を含む半導体装置において、該光ガイド層中にエッチングストップ層を含み、該エッチングストップ層直上の光ガイド層に回折格子が形成されていることを特徴とする半導体装置。