特許
J-GLOBAL ID:200903047663198973
ネガ型感光性樹脂組成物、ネガ型感光性ドライフィルム、その組成物を使用して得られる材料及びパターン形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-315647
公開番号(公開出願番号):特開2002-122987
出願日: 2000年10月16日
公開日(公表日): 2002年04月26日
要約:
【要約】【課題】 ネガ型感光性樹脂組成物、ネガ型感光性ドライフィルム、その組成物を使用して得られる材料及びパターン形成方法を提供する。【解決手段】 (A)光照射により架橋しうる感光基を有する光硬化性樹脂、(B)光酸発生剤及び(C)波長500nm以上の可視光に対して光増感能を有するベンゾピラン環縮合化合物を含むことを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
請求項(抜粋):
(A)光照射により架橋しうる感光基を有する光硬化性樹脂、(B)光酸発生剤及び(C)波長500nm以上の可視光に対して光増感能を有するベンゾピラン環縮合化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (8件):
G03F 7/004 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 512
, C08K 5/00
, C08K 5/3447
, C08K 5/42
, C08L101/02
, G03F 7/038 501
FI (8件):
G03F 7/004 503 Z
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 512
, C08K 5/00
, C08K 5/3447
, C08K 5/42
, C08L101/02
, G03F 7/038 501
Fターム (40件):
2H025AA06
, 2H025AA13
, 2H025AB11
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BC23
, 2H025BD23
, 2H025CA20
, 2H025CA28
, 2H025CA41
, 2H025CA48
, 2H025CC20
, 2H025FA29
, 4J002BC031
, 4J002BE041
, 4J002BL001
, 4J002BQ001
, 4J002CC181
, 4J002CD011
, 4J002CD021
, 4J002CD051
, 4J002CF191
, 4J002CH031
, 4J002EB106
, 4J002ED088
, 4J002EH098
, 4J002ER006
, 4J002EU177
, 4J002EV208
, 4J002EV218
, 4J002EV226
, 4J002EV236
, 4J002EV238
, 4J002EV296
, 4J002EW046
, 4J002EW176
, 4J002EY026
, 4J002EZ006
, 4J002GP03
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