特許

J-GLOBAL ID：200903047672008907

微小物体駆動装置、及びその駆動方法

発明者： 武田 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 近島 一夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-180743
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013895
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】 微小物体に所望の運動をさせるための装置に関し、装置の大型化や消費電力の増大を防止する。【解決手段】 一対の電極3a,3bに特定波形の交番電圧を印加した場合には、微小物体5が、一対の電極3a,3bに挟まれた領域C1 にて基板1a,1bにほぼ平行な平面内にて運動をする。このような微小物体の運動をレーザー光を利用して行う従来の装置に比べ、装置が簡素化・小型化される。また、微小物体5の運動は、上述のような領域C1 にて行われるため、消費した電気エネルギーの運動エネルギーへの変換効率が良くなり、消費電力を低減できる。

請求項（抜粋）：

所定間隙を開けた状態に配置された一対の基板と、これらの基板の間隙に配置された電場応答性液体と、該電場応答性液体内に移動自在に配置された少なくとも1つの微小物体と、前記電場応答性液体を挟み込むように配置された一対の電極と、これらの電極に電圧を印加する電圧印加手段と、を備えた微小物体駆動装置において、前記電圧印加手段から前記一対の電極に対して所定の電圧を印加することに基づき、前記微小物体が、前記一対の電極に挟まれた領域にて前記基板にほぼ平行な平面内にて運動をするように構成された、ことを特徴とする微小物体駆動装置。

Fターム (5件)：

5C094AA15 ,  5C094AA22 ,  5C094BA43 ,  5C094BA75 ,  5C094BA84