特許
J-GLOBAL ID：200903047673227076
現像処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-138739
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335229
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】この発明は、個々のウェ-ハの現像レ-トを一定とすることができるとともに、ウェ-ハの周縁部と中央部との現像レ-トを均一化することが可能な現像処理装置を提供することにある。【構成】 現像液24が塗布されたウェ-ハ10を載置するための載置台11を有したウェ-ハチャック7 を設け、前記載置台11内に載置台11を介してウェ-ハ10の温度を調整するための液体25が収容される液路15を形成し、この液路15内に収容される液体25の温度を調整する温度調整器20を設けている。さらに、前記載置台7の周囲にウェ-ハ周縁部10の温度を調整するための気体32が収容される空洞27を設け、この空洞27内に収容される気体32の温度を調整する温度調整器31を設けている。従って、個々のウェ-ハ10の現像レ-トを一定とすることができるとともに、ウェ-ハ10の周縁部10b と中央部10a との現像レ-トを均一化することができる。
請求項（抜粋）：
現像液が塗布されたウェーハを載置するための載置台を有したウェーハチャックと、前記載置台に内に設けられ、載置台を介して前記ウェーハの温度を調整する媒体が収容される収容部と、前記収容部内に収容される媒体の温度を調整する温度調整手段と、を具備したことを特徴とする現像処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/30 501
