特許
J-GLOBAL ID：200903047673849522
欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-067059
公開番号（公開出願番号）：特開2003-269929
出願日： 2002年03月12日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：
【要約】【課題】 検査対象物上の欠陥箇所に対するマーキングを迅速に行うとともに、装置の小型化を図る。【解決手段】 欠陥検査装置の撮像ユニット17の側方にマーキングユニット18を取り付ける。マーキングユニット18には、検査対象物である基板90に対してマーキングを行うマーカ183、マーカ183を回転軸Pを中心に約90°回動させるロータリーアクチュエータ180、およびマーカ183を昇降させる昇降機構182を設ける。マーキングを行う場合には、ロータリーアクチュエータ180がマーカ183を回動させることにより、マーカ183を欠陥箇所に対向する位置に進出させ、昇降機構182がマーカ183を基板90に当接する位置に降下させる。
請求項（抜粋）：
検査対象物上の欠陥箇所を検査する欠陥検査装置であって、前記検査対象物を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された前記検査対象物上の前記欠陥箇所の画像を取り込む画像取り込み手段と、前記画像取り込み手段が前記検査対象物上の前記欠陥箇所に対向するように、前記画像取り込み手段の光学系の光軸に略垂直な面内で前記検査対象物と前記画像取り込み手段とを相対移動させる第1移動手段と、前記画像取り込み手段によって取り込まれた前記欠陥箇所の画像を表示する表示手段と、前記画像取り込み手段に並設配置され、前記欠陥箇所にマーキングするマーキング手段と、前記画像取り込み手段と前記検査対象物との間の空間に対して、前記マーキング手段を進退させる第2移動手段と、を備え、前記マーキング手段が、前記第1移動手段によって前記画像取り込み手段と一体に移動させられるとともに、前記画像取り込み手段と前記欠陥箇所とが対向する位置で、前記画像取り込み手段と前記保持手段とが静止した状態で、前記第2移動手段によって進退させられることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/956 B
, G01B 11/24 K
, G01B 11/24 F
2F065AA56
, 2F065BB02
, 2F065CC01
, 2F065DD02
, 2F065FF04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL06
, 2F065PP11
, 2F065QQ31
, 2F065SS02
, 2F065SS13
, 2F065TT08
, 2G051AA65
, 2G051AB02
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CD04
, 2G051DA15
