特許
J-GLOBAL ID：200903047679071736
圧力トランスデューサ組立体およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-029105
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021482
出願日： 1992年01月21日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 圧力トランスデューサ組立体およびその製造方法を得ることである。【構成】 少なくとも一方が導電性であるような予め成型された弾性シールを利用する低コスト圧力トランスデューサ。2部分ハウジングにおける一対の予め成型された弾性シールの間に、厚くされた周縁部を有する半導体物質製のダイアフラムの態様の圧電抵抗応力感知素子が保持される。外部回路との電気的接続が、ハウジングの壁を貫通する電気リードに接触する弾性シールの1つを介する導電路で行われる。
請求項（抜粋）：
半導体材料製のダイアフラムであって、応力感知装置が上に形成されている中央部分と、その応力感知装置から前記ダイアフラムの周縁部まで延長する導電性領域とを有する前記ダイアフラムと、このダイアフラムを含み、前記ダイアフラムに通じる少なくとも1つの圧力ポートと、ダイアフラムの向き合う側でシールするための第1のシートおよび第2のシートを形成するために構成された第1と第2の対向する内面とを有するハウジングと、ハウジングの内部から外部へ延長し、第1のシートの近くに位置させられる電気リードと、前記ダイアフラムと前記第1のシートの間、および前記ダイアフラムと前記第2のシートの間にそれぞれに設けられ、前記ダイアフラムの中央部分を囲む場所において、前記ハウジングの内面の別々の1つにおけるシートから前記ダイアフラムの表面まで延長するための構成でおのおの成型された第1の弾性シールおよび第2の弾性シールと、を備え、前記ハウジングと前記ダイアフラムの向き合う側の間にち密なシールを形成するように、前記ハウジングは第1のシールと第2のシールおよび前記ダイアフラムを第1のシートと第2のシートの間に保持するようにされ、前記ダイアフラムの導電性領域から電気リードへ電流を流すように、前記第1の弾性シールは導電性であることを特徴とする圧力トランスデューサ組立体。
引用特許：
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