特許

J-GLOBAL ID：200903047679773064

テーブル装置

発明者： 水谷 隆 ,  大塚 行治 ,  山極 高
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-175237
公開番号（公開出願番号）：特開平8-039375
出願日： 1994年07月27日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：

【要約】【目的】 簡易な構造を有しかつ確実にテーブルの直線移動および回転運動を行うことができるとともに、直線型変位検出器によりテーブルの直線移動量の検出を行う際の検出精度を向上できるテーブル装置の提供。【構成】 ベース11と、このベース11に対して一軸方向(図中X方向)に直線移動可能かつ回転軸Zを中心に回転可能とされたテーブル12と、回転軸Zを挟んで両側に配置された一対のリニアモータ(固定子21,22および可動子23)によるリニアモータ機構20とを備えたテーブル装置10を構成し、回転軸Zを挟んでテーブル12の両側部分に同方向または逆方向の推力を与えることにより、それぞれテーブル12を直線移動または回転させるようにした。

請求項（抜粋）：

ベースと、このベースに対して一軸方向に直線移動可能かつ前記一軸方向と直角をなす回転軸を中心に回転可能とされたテーブルと、前記回転軸を挟んで両側に配置された一対のリニアモータにより前記テーブルを直線移動または回転させるリニアモータ機構とを備え、前記一対のリニアモータの各々は、前記ベースに前記一軸方向に沿って設けられた固定子と、前記テーブルに少なくとも前記回転軸を中心とした円周部分を含むように設けられた可動子とにより構成されていることを特徴とするテーブル装置。