特許
J-GLOBAL ID：200903047682403260
液体用マスフローコントローラ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 洋平 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173634
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341850
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 従来では気体を対象としていたマスフローコントローラを液体に適用させ、液体に気泡が混在する場合であっても、その気泡をバイパスに貯留させることなく排出させる。【構成】 マスフローコントローラ10は、ベース本体16に設けられたバイパス30を有している。バイパス30は流入口12及び流出口14とに連通している。マスフローコントローラ10は、バイパス30から分流し且つそれに合流するセンサ流路62と、バイパス30の下流側に設けられた流量調節手段46,48,58とを有する。センサ流路は、バイパス30が鉛直方向に位置付けられたときに、少なくとも一部に水平方向に延びるセンサ部分を有する。そのセンサ部分に熱センサが設けられている。
請求項（抜粋）：
流入口と流出口との間に形成されたバイパスと、該バイパスから分流し且つそれに合流するセンサ流路と、前記流入口又は前記流出口に設けられた流量調節手段とを有するマスフローコントローラにおいて、前記バイパスが鉛直方向に延びるとともに、前記センサ流路が水平方向に延びるセンサ部分を有し、該センサ部分に熱センサが設けられていることを特徴とする、液体用マスフローコントローラ。
引用特許：
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