回折光学素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-138645
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127322
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】容易に製造でき、しかも回折効率の波長依存を低減して、フレアやゴースト等の発生を有効に防止できる回折光学素子を提供する。【解決手段】密接または近接して順次に積層した第1、第2および第3の領域(11,12,13)と、第1および第2の領域(11,12) の境界面に形成した第1のレリーフパターン(21)と、第2および第3の領域(12,13) の境界面に形成した第2のレリーフパターン(22)とを有し、第1、第2および第3の領域(11,12,13)は、使用する光の波長で実質的に透明な互いに異なる材料をもって構成され、第1および第2のレリーフパターン(21,22) は、実質的に等しいピッチ分布で、互いに異なる溝深さ(d1,d2) を有し、それらの対応する部位が近接して配置されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

密接または近接して順次に積層した第1、第2および第3の領域と、前記第1および第2の領域の境界面に形成した第1のレリーフパターンと、前記第2および第3の領域の境界面に形成した第2のレリーフパターンとを有し、前記第1、第2および第3の領域は、使用する光の波長で実質的に透明な互いに異なる材料をもって構成され、前記第1および第2のレリーフパターンは、実質的に等しいピッチ分布で、互いに異なる溝深さを有し、それらの対応する部位が近接して配置されていることを特徴とする回折光学素子。

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平2-296205
特開平3-052893
特開平3-213802

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