特許
J-GLOBAL ID:200903047686291113
受光素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
深見 久郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-065830
公開番号(公開出願番号):特開平5-267634
出願日: 1992年03月24日
公開日(公表日): 1993年10月15日
要約:
【要約】【目的】 多分割型受光素子の信号検出の精度を向上させる。【要約】半導体基板1の表面に形成された複数のP型不純物拡散層2,3,4,5の間の分離帯上の絶縁膜の厚さtをその透過率が対象とする光の波長に対し最大となるようにする。
請求項(抜粋):
第1の導電型の半導体基板の表面に設けられた第2の導電型の複数の拡散層よりなる複数の受光部と、それらの間の複数の分離帯と、受光部と分離帯との表面を覆う絶縁膜とを有し、分離帯の表面の絶縁膜の光の透過率は対象とする光の波長に対し最大値となるようにされていることを特徴とする受光素子。
IPC (3件):
H01L 27/146
, H01L 31/0216
, H01L 31/10
FI (2件):
H01L 27/14 A
, H01L 31/10 A
引用特許:
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