波長変換型光検出素子

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-382282
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181940
出願日： 2000年12月15日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】従来のシンチレータパネルは壁部が不感帯ゾーンとなり、X線量子効率を減少させ、S/N比の低下を招く。【解決手段】第1の波長光を第2の波長光に変換する材料を埋め込む孔2を囲む側壁5を、当該孔2の面積が第2の波長光を検出する基板に向けて小さくなるようにテーパー状に形成する。

請求項（抜粋）：

一次元もしくは二次元に配列された複数個の孔に入射した第1の波長光を第2の波長光に変換する材料を埋め込んだ基板と、前記第2の波長光を検出する基板とを備えた波長変換型光検出素子において、前記孔を囲む側壁を、当該孔の面積が第2の波長光を検出する基板に向けて小さくなる形状に形成したことを特徴とする波長変換型光検出素子。

IPC (7件)：

G01T 1/20 , G01T 1/00 , G21K 4/00 , H01L 27/14 , H01L 31/09 , H04N 5/32 , H04N 5/335

FI (8件)：

G01T 1/20 B , G01T 1/20 E , G01T 1/00 B , G21K 4/00 A , H04N 5/32 , H04N 5/335 U , H01L 27/14 K , H01L 31/00 A

Fターム (46件)：

2G083AA02 , 2G083AA04 , 2G083CC03 , 2G083DD11 , 2G083EE01 , 2G083EE02 , 2G083EE03 , 2G088EE01 , 2G088EE30 , 2G088FF02 , 2G088FF04 , 2G088FF14 , 2G088GG13 , 2G088GG16 , 2G088GG19 , 2G088GG20 , 2G088JJ04 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ12 , 2G088JJ37 , 2G088LL11 , 2G088LL12 , 2G088LL15 , 4M118AA01 , 4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118BA06 , 4M118CB06 , 4M118CB11 , 4M118FA06 , 4M118FA08 , 4M118FB08 , 4M118FB09 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 4M118GD20 , 5C024AX12 , 5C024CX03 , 5C024CX37 , 5C024CY47 , 5F088BA03 , 5F088BB03 , 5F088EA02 , 5F088JA17 , 5F088LA08

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