特許

J-GLOBAL ID：200903047691411240

オルガノシロキサンオリゴマー液及びそれを用いた有機塗布ガラス膜の形成方法

発明者： 古澤 健志 ,  本間 喜夫 ,  佐藤 任廷 ,  島村 泰夫 ,  森嶋 浩之 ,  山本 靖浩
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-227589
公開番号（公開出願番号）：特開平7-166132
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1995年06月27日
要約：

【要約】【目的】 平坦化効果に優れ、かつ膜質の良い有機塗布ガラス膜を提供する。【構成】 ケイ素原子1molに対してケイ素原子に結合しているメチル基が0.6mol以上になるように、n=0,1もしくn=0,1,2のアルコキシシラン(RnSi(OR’)4-n)を混合し、アルコキシシランの共加水分解の際にリン酸や硝酸等の酸触媒を、アルコキシシラン1molに対して、0.0001mol以上0.01mol以下添加してオルガノシロキサンオリゴマー液を形成し、これを基板に塗布した後熱処理することによって有機塗布ガラス膜を形成する。

請求項（抜粋）：

テトラアルコキシシランとメチルトリアルコキシシラン、またはテトラアルコキシシランとメチルトリアルコキシシランとジメチルジアルコキシシランを原料とし、重合開始温度が125°C以上であり、かつ基板上に塗布されたとき、前記重合開始温度の膜厚に対する100°Cにおける膜厚は1.2以上4未満であることを特徴とするオルガノシロキサンオリゴマー液。

IPC (5件)：

C09D183/04 PMS ,  B05D 7/24 302 ,  C08G 77/06 NUB ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/768

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-009231
  
• 特開昭62-230828
  
• 特開平1-216543
  
• 特開平4-352456