特許

J-GLOBAL ID：200903047700977880

分光測定方法と装置および温度測定装置と膜圧測定装置

発明者： 鈴木 宏美
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-326600
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141563
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 測定帯域全般に亘って、同時に測定のできる広帯域分光方法と装置を提供すること。【解決手段】 分光器5、6、7、15、16、17を波長域の異なる複数個から構成し、かつ、光伝達手段9、50は分光器5、6、7、15、16、17の波長域に対応した複数の光伝送路2、3、4、32、33、34、42、43、44で形成する。

請求項（抜粋）：

波長域の異なる複数の分光器を備え、測定体からの測定光を前記分光器の波長域に対応した複数の光伝送路で形成した光伝達手段を介して、前記分光器へ導いて測定することを特徴とする分光測定方法。

IPC (9件)：

G01J 3/02 ,  G01B 11/06 ,  G01J 3/18 ,  G01J 5/00 ,  G01J 5/10 ,  G01K 11/12 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/35 ,  G02B 6/04

FI (9件)：

G01J 3/02 Z ,  G01B 11/06 Z ,  G01J 3/18 ,  G01J 5/00 B ,  G01J 5/10 E ,  G01K 11/12 B ,  G01N 21/27 B ,  G01N 21/35 Z ,  G02B 6/04 Z

Fターム (65件)：

2F056VF11 ,  2F056VF16 ,  2F065AA30 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL01 ,  2F065LL03 ,  2F065LL22 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065NN03 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065RR06 ,  2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020BA20 ,  2G020CA14 ,  2G020CB42 ,  2G020CB43 ,  2G020CC02 ,  2G020CC28 ,  2G020CC47 ,  2G020CC48 ,  2G020CC49 ,  2G020CC63 ,  2G020CD04 ,  2G020CD24 ,  2G020CD38 ,  2G059AA03 ,  2G059BB08 ,  2G059EE02 ,  2G059EE11 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM04 ,  2G059NN06 ,  2G066AA01 ,  2G066AA04 ,  2G066AB02 ,  2G066AB06 ,  2G066AB08 ,  2G066BA12 ,  2G066BA38 ,  2G066BC15 ,  2H046AA46 ,  2H046AA48 ,  2H046AD02 ,  2H046AD09