電気化学式ガスセンサ及びその駆動方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-010814
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201336
出願日： 1995年01月26日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】通電開始後、出力電流が安定動作状態になるまでの時間を短縮することができ、初期安定化時間の短い電気化学式ガスセンサ及びその駆動方法を提供することにある。【構成】ガスセンサ素子1は、酸化絶縁処理したシリコン基板10の表面に、作用電極20、対極30、及び参照電極40とを設け、各電極20、30、40を高分子固体電解質膜50を介して電気的に接続している。また、各電極20、30、40の一端は、電源回路部60に接続されている。この電源回路部60は、通電開始時に、作用電極20、参照電極40間に、ガス検知状態における印加電圧とは異なる大きさの電圧を、所定時間印加し、この所定時間経過後、ガス検知状態の印加電圧に設定するセンサ駆動部、ガスセンサ素子1の出力電流を検出し、増幅するための回路を備えている。

請求項（抜粋）：

絶縁基板の同一面上に、作用電極、対極、参照電極が設けられ、前記各電極及び各電極間を覆って固体電解質膜が設けられた電気化学式ガスセンサにおいて、前記作用電極と前記参照電極との間に、ガス検知状態における印加電圧とは異なる大きさの電圧を、通電開始時に、所定時間印加し、この所定時間の経過後、ガス検知状態の印加電圧に設定する回路を備えたことを特徴とする電気化学式ガスセンサ。

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