特許
J-GLOBAL ID：200903047709689942
超清純流体の加圧供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253175
公開番号（公開出願番号）：特開2001-073930
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：
【要約】【課題】 不純物を一切混入させることなく、超清純流体を大気圧から所定の圧力まで加圧して連続供給することが可能な超清純流体の加圧供給装置を提供する。【解決手段】 内部を変形可能な隔膜10,11で分離して、超清純流体室2A,3Aと作動流体室2B,3Bとを設けた加圧部2,3を複数並設し、ポンプ1により所定圧力に加圧した作動流体を複数流路に分岐し、それぞれ作動バルブ5,6を介して加圧部の作動流体室に供給する一方、超清純流体供給装置7から超清純流体を各加圧部の超清純流体室にそれぞれ補充バルブ8,9を介して供給し、隔膜を通じて作動流体の圧力で超清純流体を大気圧から所定の圧力まで加圧し、各加圧部で交互に加圧された超清純流体を供給バルブ12,13を介して合流させて連続供給してなる。
請求項（抜粋）：
内部を変形可能な隔膜で分離して、超清純流体室と作動流体室とを設けた加圧部を複数並設し、ポンプにより所定圧力に加圧した作動流体を複数流路に分岐し、それぞれ作動バルブを介して前記加圧部の作動流体室に供給する一方、超清純流体供給装置から超清純流体を各加圧部の超清純流体室にそれぞれ補充バルブを介して供給し、前記隔膜を通じて作動流体の圧力で超清純流体を大気圧から所定の圧力まで加圧し、各加圧部で交互に加圧された超清純流体を供給バルブを介して合流させて連続供給してなることを特徴とする超清純流体の加圧供給装置。
IPC (2件)：
Fターム (25件)：
3H075AA06
, 3H075BB03
, 3H075BB04
, 3H075BB13
, 3H075BB14
, 3H075BB16
, 3H075BB20
, 3H075BB30
, 3H075CC16
, 3H075CC36
, 3H075CC40
, 3H075DA04
, 3H075DA05
, 3H075DA07
, 3H075DA11
, 3H075DA14
, 3H075DA15
, 3H075DA20
, 3H075DA22
, 3H075DA30
, 3H075DB10
, 3H075EE08
, 3H075EE14
, 3H075EE16
, 3H075EE18
