特許

J-GLOBAL ID：200903047710053113

モニタ装置およびモニタ方法

発明者： 小泉 弘人
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  テル・エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-158944
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031902
出願日： 1994年07月11日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】処理装置内の状況を一括して正確に把握することができるモニタ装置を提供することを目的とする。【構成】被検査体の電気特性を検査するための検査部と、被検査体を収納する収納部と、収納部と検査部との間で被検査体を搬送する搬送部とを備えた検査装置に、被検査体をモニタするモニタ装置が設けられる。このモニタ装置は、検査部における被検査体のアライメントに用いられる撮像手段30と、搬送部における被検査体の位置を検出するためのセンサ32と、前記処理装置内を画像表示すると共に、前記前記検査部におけるアライメント状況および前記搬送部における被検査体の位置情報をその画像内に表示する表示手段6とを具備する。

請求項（抜粋）：

被処理体に所定の処理を施すための処理装置において被処理体をモニタするモニタ装置であって、前記処理装置における前記被処理体の位置を検出する検出手段と、前記処理装置内を一括して画像表示すると共に、前記検出手段により検出された前記被処理体の位置情報を前記画像内に表示する表示手段と、を具備することを特徴とするモニタ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-046745
  
• 特開平2-025764
  
• 特開昭63-252417