特許
J-GLOBAL ID：200903047723125482
局所分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-238653
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092114
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 分析領域検出のためのビーム走査を行って分析領域とその周辺との境界線を検出した後,該境界線内にのみマイクロイオンビームによる分析走査を破壊限界密度内で自動的に行う局所分析装置を提供する。【構成】 マイクロイオンビーム9bにより試料面を試料5の非破壊条件で走査したときの検出器6が検出する測定信号の変化に基づいて分析領域とその周辺との境界線を該境界線位置へのビーム偏向角度データとして記憶装置8に記憶させ,境界線から分析領域の面積と該面積による分析領域を破壊することなく走査するに必要な全照射量を演算して,上記境界線内を繰り返し走査したときの全照射量が上記演算された全照射量に達したときビーム照射を終了させる。
請求項（抜粋）：
マイクロイオンビームで試料面を走査し,該試料の分析領域から発生する散乱イオンエネルギー等の測定信号を検出器により検出して局所のイオン分析を行う局所分析装置において,上記マイクロイオンビームにより試料面を上記試料の非破壊条件で走査したときに上記検出器が検出する測定信号の変化に基づいて分析領域を自動的に検出する分析領域自動検出手段と,上記検出された分析領域の面積を算出し,該算出面積と予め定められた破壊限界照射量密度とに基づいて分析領域を破壊することなく走査するに必要な全照射量を演算する限界照射量演算手段と,上記分析領域自動検出手段により検出された分析領域について非破壊条件下で自動的に繰り返し走査し,該走査による照射量が上記限界照射量演算手段により演算された全照射量に達したときビーム照射を終了する走査制御手段とを具備してなることを特徴とする局所分析装置。
IPC (3件)：
G01N 23/225
, G01N 23/203
, H01J 37/256
