特許

J-GLOBAL ID：200903047724064762

感光性エレメント、その積層方法及びレジスト形成方法

発明者： 塚田 勝重 ,  大友 聡 ,  丹野 清吉 ,  天野倉 仁 ,  中野 昭夫
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-331071
公開番号（公開出願番号）：特開平7-191455
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 凹凸基板に対する被覆性を改良した感光性エレメントを提供する。【構成】 支持体フィルム(a)上に接着層(b)、高伸長性の可撓性フィルム(c)及び感光性樹脂組成物の層(d)を順次形成してなり、かつ(a)と(b)との層間接着力が、(b)と(c)との層間接着力よりも大きく、また(b)と(c)との層間接着力が(c)と(d)との層間接着力より小さいことを特徴とする感光性エレメント。

請求項（抜粋）：

支持体フィルム(a)上に接着層(b)、高伸長性の可撓性フィルム(c)及び感光性樹脂組成物の層(d)を順次形成してなり、かつ(a)と(b)との層間接着力が、(b)と(c)との層間接着力よりも大きく、また(b)と(c)との層間接着力が(c)と(d)との層間接着力より小さいことを特徴とする感光性エレメント。

IPC (7件)：

G03F 7/004 512 ,  B32B 27/00 ,  B32B 31/00 ,  G03F 7/115 ,  G03F 7/16 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/28