特許
J-GLOBAL ID：200903047742876170
リーク検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-227580
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067665
出願日： 1991年09月09日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 プラズマ処理室のリーク検出方法に関し,即時に反応容器のリークを検出できる方法を提供し,たとえリークが発生してもウエハの処理不良を最小限にとどめることを目的とする。【構成】 反応容器内に発生した反応ガスのプラズマの発光スペクトルを観測し,大気の成分である酸素もしくは窒素の発光強度と,反応ガスの成分元素の発光強度との比を用いて該反応容器のリークの基準を設定するように構成する。
請求項（抜粋）：
反応容器内に発生した反応ガスのプラズマの発光スペクトルを観測し,大気の成分である酸素もしくは窒素の発光強度と,反応ガスの成分元素の発光強度との比を用いて該反応容器のリークの基準を設定することを特徴とするリーク検出方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, H01L 21/205
, H01L 21/302
