インクジェットヘッド

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川口義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-335210
公開番号（公開出願番号）：特開平9-174838
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】インク流路と他の基板を接合する際に接着剤のはみ出しや流路部分への流れ込みがなく、全体に均一かつ接着不良のない接着を実現し、安定した流路形状を形成可能とし特性の安定したインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】インク吐出圧発生素子を設けた基板表面を清浄化するとともに乾燥させた後、インク吐出圧発生素子を設けた基板面に、80°C〜105°C程度に加温されたドライフィルムを0.5〜3.0m/minの速度、2〜5kgf/cm2 の加圧条件下でラミネートする。次に、基板上にラミネートしたドライフィルム上に壁厚を一定幅にするために一定幅のパターンを有するフォトマスクを重ね合わせた後、このフォトマスクの上部から露光を行う。露光を行うことによりドライフィルムが重合反応を起こして硬化し、溶剤不溶性になる。他方、露光されなかったドライフィルムは硬化せず、溶剤可溶性のまま残る。露光工程を経た後、ドライフィルムを揮発性有機溶剤、例えば、トリクロロエタン中に浸漬して、未硬化のドライフィルムを溶解除去する。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂の硬化膜によりインク通路の壁が形成されるインクジェットヘッドにおいて、前記硬化膜の壁厚を一定としたことを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

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