特許
J-GLOBAL ID：200903047747162729
電子線照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-159266
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346998
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 より高い冷却効率で電子取出し用の窓箔及び窓箔取付けフランジを有効に冷却できるようにした電子線照射装置を提供する。【解決手段】 電子線の加速管2または走査管3の端部に、取付けフランジ4を介して電子線を大気側に取出すための窓箔6を取付けた電子線照射装置において、取付けフランジ4には、取付けフランジ4の内周面に形成された環状の溝と環状の溝10の開口端を閉塞する蓋体11とにより冷却媒体通路13が設けられている。
請求項（抜粋）：
電子線の加速管または走査管の端部に、取付けフランジを介して電子線を大気側に取出すための窓箔を取付けた電子線照射装置において、前記取付けフランジには、該取付けフランジの内周面に形成された環状の溝と該環状の溝の開口端を閉塞する蓋体とにより冷却媒体通路が設けられていることを特徴とする電子線照射装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 5/00 C
, G21K 5/04 E
