特許

J-GLOBAL ID：200903047750645960

角速度センサおよびその周波数調整方法

発明者： 森屋 和文
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266837
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097710
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】音叉振動を行う二つの振動子の機械共振周波数を等しくして検出感度を高くし、かつ、経時的周波数変化の調整に対応できる角速度センサおよび音叉振動をする二つの振動子の機械共振周波数を電気的に簡単かつ容易に調整することのできる角速度センサの周波数調整方法を提供することを目的とする。【解決手段】支持固定部5a、5bに梁8a、8bを介して支持されて音叉振動をする駆動用振動子9およびモニタ用振動子11と、駆動用振動子9を励振する駆動櫛歯電極3c、9aと、モニタ用振動子11から駆動信号を検出するモニタ櫛歯電極4c、11aと、駆動用振動子9およびモニタ用振動子11のコリオリ力に基づく変位を検出するコリオリ力検出電極2a、2bと、を有する角速度センサ10において、駆動用振動子9とモニタ用振動子11との少なくとも一方側に音叉振動周波数を調整する静電調整電極12、13と可変直流電圧v1、v2とを設けた角速度センサ。

請求項（抜粋）：

支持固定部に梁を介して支持され且つ音叉結合した第一振動子および第二振動子と、前記第一振動子を励振する駆動手段と、前記第二振動子からの振動信号を検出するモニタ手段と、前記第一振動子および前記第二振動子のコリオリ力に基づく変位を検出するコリオリ力検出手段と、前記第一振動子と前記第二振動子との少なくとも一方側に振動周波数を調整する周波数調整手段と、を設けたことを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (15件)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB12 ,  2F105BB20 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA32 ,  4M112CA36