特許
J-GLOBAL ID:200903047751412772

X線回折装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 横川 邦明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-216606
公開番号(公開出願番号):特開平10-048398
出願日: 1996年07月30日
公開日(公表日): 1998年02月20日
要約:
【要約】【課題】 X線源と試料との間に配置される部材から発生する散乱X線や回折X線がX線検出器に取り込まれることを防止して、ノイズ成分を含まない信頼性の高い測定データを得られるようにする。【解決手段】 X線源Fから放射されたX線R0 を試料Sへ入射し、その試料Sで回折したX線をX線検出器2によって検出するX線回折装置である。試料SのX線照射面S0 側に配設されたX線遮蔽部材3を有しており、そのX線遮蔽部材3は、入射X線R0 を通過させるための間隔δをおいて試料Sに対向して配置される。発散規制スリット1で発生するノイズ成分となる散乱X線は、X線遮蔽部材3によってその進行が阻止されてX線検出器2に取り込まれることが無くなる。
請求項(抜粋):
X線源から放射されたX線を試料へ入射し、その試料で回折したX線をX線検出手段によって検出するX線回折装置において、試料のX線照射面側に配設されたX線遮蔽部材を有しており、そのX線遮蔽部材は、入射X線を通過させるための間隔をおいて試料に対向して配置されることを特徴とするX線回折装置。
IPC (2件):
G21K 1/06 ,  G01N 23/207
FI (2件):
G21K 1/06 S ,  G01N 23/207

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