特許
J-GLOBAL ID：200903047755342671
カラーフィルターレジスト溶液
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-022771
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220743
出願日： 1995年02月10日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 色材料、光重合開始系、エチレン性化合物、界面活性剤及び溶剤を含有するカラーフィルターレジスト溶液の、現像性、透明性、耐溶剤性、基板との接着性を改善する。【構成】 アニオン性界面活性剤を色材料の5〜40重量%含む。界面活性剤の色材料への吸着量が色材料の2〜15重量%。色材料を平均粒径0.2μm以下に分散させる。【効果】 アニオン性界面活性剤は、色材料を高濃度にカラーフィルターレジスト溶液中に分散させる。また、塗布、パターン露光後、現像した際に、露光部分のカラーフィルターレジストの基板との密着性を低下させることなく、高濃度に色材料を含有するカラーフィルターレジストの未露光部分を現像中に速やかに溶出させる。露光部分の基板との十分な接着性を保持し、良好な現像性を実現し、高品質なレジストパターンを形成できる。
請求項（抜粋）：
色材料、光重合開始系、エチレン性化合物、界面活性剤及び溶剤を含有するカラーフィルターレジスト溶液において、該界面活性剤がアニオン性界面活性剤であり、その含有量が色材料の5〜40重量%であり、該界面活性剤の色材料への吸着量が色材料の2〜15重量%であり、かつ、色材料は平均粒径0.2μm以下の分散粒子として分散していることを特徴とするカラーフィルターレジスト溶液。
IPC (6件)：
G03F 7/004 504
, G03F 7/004 505
, G02B 5/20 101
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, H01J 29/32
G03F 7/004 504
, G03F 7/004 505
, G02B 5/20 101
, G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, H01J 29/32
